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上海微系统与信息技... [56]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Fabrication of Direct Silicon Bonded Hybrid Orientation Substrate by Separation by Implanted Oxygen Layer Transfer and Oxide Dissolution Annealing
期刊论文
APPLIED PHYSICS EXPRESS, 2011, 卷号: 4, 期号: 3, 页码: 31301
Wei,X
;
Xue,ZY
;
Wu,AM
;
Cao,GB
;
Zhang,B
;
Lin,CL
;
Zhang,MA
;
Wang,X
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浏览/下载:46/0
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提交时间:2012/04/10
JAPAN SOC APPLIED PHYSICS
Fabrication of Direct Silicon Bonded Hybrid Orientation Substrate by Separation by Implanted Oxygen Layer Transfer and Oxide Dissolution Annealing
期刊论文
APPLIED PHYSICS EXPRESS, 2011, 卷号: 4, 期号: 3, 页码: 31301
Wei, X
;
Xue, ZY
;
Wu, AM(重点实验室)
;
Cao, GB
;
Zhang, B
;
Lin, CL(重点实验室)
;
Zhang, MA
;
Wang, X(重点实验室)
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2013/05/10
Physics
Applied
LEO卫星地面干扰站的设计
期刊论文
微计算机信息, 2010, 期号: 24
赵星惟
;
吕源
;
龚文斌
;
梁旭文
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/01/06
SIMOX
SOI
总剂量辐射效应
Pseudo-MOS晶体管
Development of indium bumping technology through AZ9260 resist electroplating
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010, 卷号: 20, 期号: 5, 页码: 55035-55035
Huang, QP
;
Xu, GW
;
Yuan, Y
;
Cheng, X
;
Luo, L
收藏
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提交时间:2012/03/24
NI-P
HYBRID
METALLIZATION
DETECTOR
SOLDER
Characterization and analysis of silicon on insulator fabricated by separation by implanted oxygen layer transfer
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2010, 卷号: 28, 期号: 1, 页码: 163-168
Wei,X
;
Wu,AM
;
Wang,X
;
Li,XY
;
Ye,F
;
Chen,J
;
Chen,M
;
Zhang,B
;
Li,CL
;
Zhang,M
;
Wang,X
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/03/24
LOW-DOSE SEPARATION
PSEUDO-MOS TRANSISTOR
BURIED OXIDE LAYERS
THERMAL-OXIDATION
WAFERS
SOI
FILM
SOICMOS
Investigation on Silicon on Insulator Fabricated by Separation by Implanted Oxygen Layer Transfer
期刊论文
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 2010, 卷号: 157, 期号: 1, 页码: H81-H85
Wei, X
;
Wu, AM
;
Wang, X
;
Li, XY
;
Ye, F
;
Chen, J
;
Chen, M
;
Zhang, B
;
Lin, CL
;
Zhang, M
;
Wang, X
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/03/24
LOW-DOSE SEPARATION
BURIED-OXIDE
THERMAL-OXIDATION
FILM
SOI
WAFERS
Strain Stability and Carrier Mobility Enhancement in Strained Si on Relaxed SiGe-on-Insulator
期刊论文
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 2010, 卷号: 157, 期号: 1, 页码: H104-H108
Ma, XB
;
Liu, WL
;
Liu, XY
;
Du, XF
;
Song, ZT
;
Lin, CL
;
Chu, PK
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/24
N-MOSFETS
SILICON
FABRICATION
TECHNOLOGY
LAYERS
RELAXATION
ELECTRON
SIMOX
SOI
Investigation on Silicon on Insulator Fabricated by Separation by Implanted Oxygen Layer Transfer
期刊论文
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 2010, 卷号: 157, 期号: 1, 页码: H81-H85
Wei, X
;
Wu, AM(重点实验室)
;
Wang, X(重点实验室)
;
Li, XY
;
Ye, F
;
Chen, J
;
Chen, M
;
Zhang, B(重点实验室)
;
Lin, CL(重点实验室)
;
Zhang, M
;
Wang, X(重点实验室)
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2013/05/10
Electrochemistry
Materials Science
Coatings & Films
Characterization and analysis of silicon on insulator fabricated by separation by implanted oxygen layer transfer
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2010, 卷号: 28, 期号: 1, 页码: 163-168
Wei, X(重点实验室)
;
Wu, AM
;
Wang, X(重点实验室)
;
Li, XY
;
Ye, F
;
Chen, J
;
Chen, M
;
Zhang, B(重点实验室)
;
Li, CL
;
Zhang, M(重点实验室)
;
Wang, X(重点实验室)
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2013/05/10
Engineering
Physics
Electrical & Electronic
Nanoscience & Nanotechnology
Applied
传感器网络技术与标准化连载(二) 传感器网络系统架构与标准体系分析
期刊论文
信息技术与标准化, 2009, 期号: 12
沈杰
;
邢涛
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/01/06
SOI
SIMOX
Pseudo-MOSFET
隐埋氧化层
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