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Oxygen gettering in Si by He ion implantation-induced cavity layer 期刊论文
NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2009, 卷号: 20, 期号: 4, 页码: 202-207
Ou, X; Zhang, B; Wu, AM; Zhang, M; Wang, X
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The use of nanocavities for the fabrication of ultrathin buried oxide layers 期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2009, 卷号: 94, 期号: 1, 页码: 11903-11903
Ou, X; Kogler, R; Mucklich, A; Skorupa, W; Moller, W; Wang, X; Vines, L
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/03/24
Oxygen gettering in Si by He ion implantation-induced cavity layer 期刊论文
NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2009, 卷号: 20, 期号: 4, 页码: 202-207
Ou, X; Zhang, B（重点实验室）; Wu, AM; Zhang, M（重点实验室）; Wang, X（重点实验室）
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2013/05/10
Oxygen gettering in Si by He ion implantation-induced cavity layer 期刊论文
NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2009, 卷号: 20, 期号: 4
Ou, X; Zhang, B（重点实验室）; Wu, AM（重点实验室）; Zhang, M（重点实验室）; Wang, X（重点实验室）
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2013/05/10
Improvement of the radiation hardness of SIMOX buried oxides by silicon ion implantation 期刊论文
HIGH ENERGY PHYSICS AND NUCLEAR PHYSICS-CHINESE EDITION, 2007, 卷号: 31, 期号: 4, 页码: 388-390
He, W; Zhang, ZX; Zhang, EX; Qian, C; Tian, H; Wang, X
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/03/24
Research on ion implantation effect on SIMOX material modification technique by X-ray photoelectron spectroscopy 期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2007, 卷号: 257, 页码: 199-202
Zhanga, EX; Zhang, ZX; Chen, J; Song, ZR; Yang, H; He, W; Tian, H; Wang, X
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/03/24
Patterned buried oxide layers under a single MOSFET to improve the device performance 期刊论文
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2004, 卷号: 19, 期号: 3, 页码: L25-L28
Dong, YM; Chen, M; Chen, J; Wang, X; Wang, X; He, P; Lin, X; Tian, LL; Li, ZJ
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/03/24
硅中H+ He+离子注入引起的物理效应与SOI高速度传感器的研制 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2001
多新中
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Comparison of Cu gettering to H+ and He+ implantation-induced cavities in separation-by-implantation-of-oxygen wafers 期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1999, 卷号: 85, 期号: 1, 页码: 94-98
Zhang, MA; Lin, CL; Duo, XZ; Lin, ZX; Zhou, ZY
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/03/25
Transmission electron microscopy and spectroscopic ellipsometry studies of damage layer induced by large tilt angle ion implantation 期刊论文
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1996, 卷号: 143, 期号: 8, 页码: 2636-2640
He,ZP; Cristiano,F; Zhou,ZY; Qian,YH; Chen,LY; Lin,CL; Hemment,PLF; Zou,SC
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