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| 一种相变材料的干法刻蚀方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102136548A, 申请日期: 2011-07-27, 公开日期: 2011-07-27
夏梦姣; 饶峰; 宋志棠; 吴良才; 刘波
  收藏 | 浏览/下载：131/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 以单壁碳纳米管为电极的横向相变存储器的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101521177, 申请日期: 2009-09-02, 公开日期: 2009-09-02
宋志棠; 吕士龙
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 一种低功耗相变存储器的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101488555, 申请日期: 2009-07-22, 公开日期: 2009-07-22
吕士龙; 宋志棠; 刘波; 封松林
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 离子束辅助沉积铂-碳混合膜的工艺方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101130856, 申请日期: 2008-02-27, 公开日期: 2008-02-27
江炳尧; 冯涛; 王曦; 柳襄怀
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| ZnO 压电薄膜谐振器及BYFO 多铁体研究 学位论文
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007
言智
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| 双离子束溅射制备非晶SiO_xN_y薄膜的强黄光发射(英文) 期刊论文
功能材料, 2006, 期号: 03
瞿发俊; 徐华; 吴雪梅; 诸葛兰剑
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 低能Ar离子束辅助沉积Ag(111)薄膜 期刊论文
核技术, 2005, 期号: 01
江炳尧; 蒋军; 冯涛; 任琮欣; 张正选; 柳襄怀; 郑里平
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2012/01/06
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| C、Hf薄膜抑制栅极电子发射的机理研究 期刊论文
功能材料信息, 2005, 期号: 04
吴雪梅; 诸葛兰剑; 柳襄怀
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| C、Hf薄膜抑制栅极电子发射的机理研究 会议论文
《2005年功能材料学术年会》专辑, 2005
吴雪梅; 诸葛兰剑; 柳襄怀
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2012/01/18
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| 纳米半导体薄膜材料加工测试平台(中科院) 成果
鉴定: 无, 2004
宋志棠; 封松林; 刘卫丽; 刘波; 林成鲁; 沈勤我; 林梓鑫; 张楷亮; 郭晓慧
收藏 | 浏览/下载：82/0 | 提交时间：2013/04/12 |
