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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 微机械陀螺DRIE刻蚀过程中的局域掩膜效应 期刊论文 传感技术学报, 2010, 期号: 08 冷悦; 焦继伟; 张颖; 顾佳烨; 颜培力; 宓斌玮 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/01/06 电动汽车  动力电池  锂离子电池  储存性能   微机械陀螺的深刻蚀工艺及器件和板级热模型研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 冷悦 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/03/06 微机电系统  微机械陀螺  深反应离子刻蚀  局域掩膜效应  热模型