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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响 期刊论文 半导体学报, 2005, 期号: 02 董林玺; 车录锋; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/01/06 硅  微机械  陀螺  微机械加工技术   梳齿的不平行对电容式微机械传感器阶跃信号响应的影响 期刊论文 传感技术学报, 2005, 期号: 03 董林玺; 孙玲玲; 车录锋; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/01/06 单粒子翻转  容错  硬件冗余   力反馈微加速度计的准静态和阶跃响应模型 期刊论文 机械工程学报, 2004, 期号: 10 车录锋; 徐志农; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/01/06 SOI  nMOSFET  氮注入  电子迁移率  阈值电压