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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 SiGe薄膜的RPCVD负载影响及特性研究 期刊论文 材料导报, 2012, 期号: 14, 页码: 22-24+32 陈达; 刘林杰; 薛忠营; 刘肃; 贾晓云 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2013/02/22 薄膜  减压化学气相沉积  硅锗  负载影响   体硅上外延超薄Si1-xGex用于制备SGOI材料 期刊论文 功能材料与器件学报, 2011, 期号: 02 薛忠营; 张波; 魏星; 张苗 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/04/13 外延  应变  锗硅  SGOI