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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：过程工程研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 四氯化硅微波等离子氢化的新工艺 学位论文 博士: 中国科学院研究生院, 2012 卢振西 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2013/09/25 微波  等离子  氢化  四氯化硅  温度   三氯氢硅和氢气系统的气相沉积三维模拟 期刊论文 人工晶体学报, 2012, 期号: 03, 页码: 680-686 黄国强; 毛俊楠; 王红星; 华超 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2014/08/27 化学气相沉积  数值模拟  传质  反应  多晶硅  硅沉积速率   Pt/SBA-15的制备、表征及催化硅氢加成反应性能 期刊论文 杭州师范大学学报(自然科学版), 2009, 期号: 05, 页码: 367-370 作者:  邓元;  白赢;  李丽 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2014/08/27 硅氢加成  Pt  负载  烯烃