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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：电工研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 高数值孔径光刻中光的传播与成像研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2008 1周远,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：73/0  |  提交时间：2010/10/18 高数值光刻  矢量成像  偏振  TARC  BARC  体效应  干涉光刻 High numerical aperture lithography  Vector imaging  Polarization  TARC  BARC  Bulk effects  Interference lithography   光刻分辨率增强技术研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2008 1高松波,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/10/18 分辨率增强技术  相移掩模  离轴照明  邻近效应校正  相移式邻近效应校正 RET  PSM  OAI  OPC  PSOPC  immersion lithography   分辨率增强技术在ArF光刻中的应用 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2007 1孙知渊,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/10/18 光刻  信息光学  分辨率增强技术 Lithography，Information optics，Resolution enhancement technology