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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 专题：电工研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 高数值孔径光刻中光的传播与成像研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2008 1周远,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：72/0  |  提交时间：2010/10/18 高数值光刻  矢量成像  偏振  TARC  BARC  体效应  干涉光刻 High numerical aperture lithography  Vector imaging  Polarization  TARC  BARC  Bulk effects  Interference lithography   基于电子束曝光技术的三维微结构研究 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2008 1宋志,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2010/10/18 电子束曝光  微细加工  三维微结构  曝光工艺  软件系统 Electron beam lithography  Micro-Nanofabrication  Three-dimensional microstructures  Lithography process  Software system   电子束曝光建模仿真及其在高精度图形保真研究中的应用 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2007 1赵国荣,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2010/10/18 电子束曝光  相对论修正  二次电子  线条边缘粗糙度  极紫外光刻 Electron Beam Lithography  Relativity Correction  Secondary Electron  Line Edge Roughness  Extreme Ultraviolet Lithography   浸没式ArF光刻CD均匀性研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2006 1张飞,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2010/10/18 CD均匀性  CD误差控制  杂散光  像差  偏振光  光刻性能  下一代光刻   利用扫描电镜进行高分辩率图形制作研究 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 1992 1朱军山,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2010/10/18