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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 The leveling of mask and wafer in proximity nanolithography using fringe pattern phase analysis 期刊论文 OPTIK, 2014, 卷号: 125, 期号: 13, 页码: 3176-3180 作者:  Xu, Feng;  Zhou, Shaolin;  Hu, Song 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2015/07/10 Nanolithography  Leveling  Fringe pattern analysis  Phase extraction   Influence of tilt moire fringe on alignment accuracy in proximity lithography 期刊论文 OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2013, 卷号: 51, 期号: 4, 页码: 371-381 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, Junsheng;  Tang, Yan;  Xu, Feng 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/04/17 Angular displacement  Phase  Tilt moire fringe  Lithography alignment  Linear displacement   Influence of tilt moiré fringe on alignment accuracy in proximity lithography 期刊论文 Optics and Lasers in Engineering, 2013, 卷号: 51, 期号: 4, 页码: 371-381 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, Junsheng;  Tang, Yan;  Xu, Feng 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/11/23 Alignment method based on matched dual-grating moire fringe for proximity lithography 期刊论文 OPTICAL ENGINEERING, 2012, 卷号: 51, 期号: 11 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, Junsheng;  Tang, Yan 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2015/07/10 lithography alignment  moire fringe  angular displacement   Alignment method based on matched dual-grating moiré fringe for proximity lithography 期刊论文 Optical Engineering, 2012, 卷号: 51, 期号: 11, 页码: 113603 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, Junsheng;  Tang, Yan 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/23