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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 主动自由曲面补偿光学系统像差研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 作者:  周超 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2016/12/30 光刻，主动光学，热像差，Zernike 多项式，自由曲面   DMD无掩模光刻机主控软件系统的设计 期刊论文 微纳电子技术, 2014, 卷号: 51, 期号: 10, 页码: 673-678 作者:  冯金花;  胡松;  李艳丽;  何渝 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/23 无掩模光刻  数字光刻  数据管理  调焦  对准   光电经纬仪CCD曝光中心测量系统的设计 期刊论文 光学精密工程, 2013, 卷号: 21, 期号: 5, 页码: 1304-1311 作者:  李满良;  吴钦章 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/11/01 光电经纬仪  CCD曝光中心  IRIG-B码终端  数字信号处理  现场可编程门阵列  边缘提取   光电成像质量评价及其控制技术研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011 谢小甫 收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2014/12/10 图像质量评价  光电成像系统控制  自动对焦  自动调光   高精度面形检测关键技术研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011 杨鹏 收藏  |  浏览/下载：227/0  |  提交时间：2014/12/11 光学检测  干涉计量  球面检测  绝对检测   掩模移动曝光系统精密定位工件台技术研究 学位论文 硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2007 佟军民 收藏  |  浏览/下载：63/0  |  提交时间：2013/11/19 掩模移动曝光技术  精密定位工件台  移动直线性  移动正交性