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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于矢量光场的纳米光针产生技术 学位论文 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2021 作者:  刘立巍 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2021/06/08 矢量光场  光针  角向偏振光  光场调制   纳米光刻对准方法及其原理 期刊论文 微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 4, 页码: 222-230 周绍林; 唐小萍; 胡松; 马平; 陈旺富; 杨勇; 严伟 收藏  |  浏览/下载：80/0  |  提交时间：2015/05/18 传统光学光刻的极限及下一代光刻技术 期刊论文 微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 361-365+369 蒋文波; 胡松 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2015/05/18