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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计 期刊论文 制造技术与机床, 2015, 期号: 8, 页码: 47-50 作者:  佟军民;  胡松 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/23 掩模移动曝光技术  接近式光刻机  对准系统  对准精度   XK714/1数控铣床螺距误差补偿 期刊论文 机床与液压, 2012, 卷号: 40, 期号: 8, 页码: 24-26 作者:  陈勇;  王青春;  徐伟 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/11/22 螺距误差  FANUC0M系统  XK714/1数控铣床