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浏览/检索结果: 共15条，第1-10条 帮助 限定条件 专题：电子学研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 多层膜的干湿结合蚀刻方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2005-05-18, 2010-12-24 高晓光; 李建平; 何秀丽  收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2010/12/24 多层膜的干湿结合蚀刻方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2005-05-18, 2010-12-24 高晓光; 李建平; 何秀丽  收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/12/24 以SiN_sub_x__sub_为梁的新型微结构谐振梁压力传感器制造方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2003, 2010-12-24 于中尧; 崔大付; 陈德勇  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/12/24 以SiN_sub_x__sub_为梁的新型微结构谐振梁压力传感器制造方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2003, 2010-12-24 于中尧; 崔大付; 陈德勇  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/12/24 安培型生物传感器微型化技术研究 学位论文 博士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009 孙楫舟 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2011/07/19 安培型生物微传感器  MEMS  三维结构电极  沙门氏菌  电化学聚合   安培型生物传感器微型化技术研究 学位论文 博士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009 孙楫舟 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2011/07/19 安培型生物微传感器  MEMS  三维结构电极  沙门氏菌  电化学聚合   一种基于MEMS技术的谐振式气体微流量传感器的设计与制造 学位论文 硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009 郭然 收藏  |  浏览/下载：71/0  |  提交时间：2011/07/19 微机械电子系统  气体微流量传感器  电磁激励  静电激励  湿法腐蚀  有限元仿真   一种基于MEMS技术的谐振式气体微流量传感器的设计与制造 学位论文 硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009 郭然 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2011/07/19 微机械电子系统  气体微流量传感器  电磁激励  静电激励  湿法腐蚀  有限元仿真   MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制 期刊论文 微纳电子技术, 2007, 卷号: 44, 期号: 7, 页码: 249-251 庞程; 赵湛; 杜利东 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/05/19 电容压力传感器  各向异性腐蚀  阳极键合  反应离子深刻蚀   各向异性磁电阻传感器的研究 学位论文 硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006 陈雁 收藏  |  浏览/下载：161/0  |  提交时间：2011/07/19 各向异性磁电阻传感器  磁电阻薄膜  有限元方法  输出特性