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电子学研究所 [13]
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期刊论文 [5]
专利 [4]
学位论文 [4]
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2008 [1]
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专题：电子学研究所
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一种微机械电容式风速风向传感器
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2010-02-24, 2010-12-24
赵 湛
;
韩有君
;
杜利东
;
方 震
收藏
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浏览/下载：21/0
|
提交时间：2010/12/24
一种微机械电容式风速风向传感器
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2010-02-24, 2010-12-24
赵 湛
;
韩有君
;
杜利东
;
方 震
收藏
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浏览/下载：11/0
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提交时间：2010/12/24
一种微型电容式风速传感器
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2009, 2010-12-24
赵 湛
;
韩有君
;
杜利东
;
庞 程
;
方 震
收藏
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浏览/下载：23/0
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提交时间：2010/12/24
一种微型电容式风速传感器
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2009, 2010-12-24
赵 湛
;
韩有君
;
杜利东
;
庞 程
;
方 震
收藏
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浏览/下载：4/0
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提交时间：2010/12/24
基于三层悬臂梁结构的电容式风速传感器设计
期刊论文
仪表技术与传感器, 2009, 期号: 10, 页码: 1-3
韩有君
;
赵湛
;
杜利东
收藏
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浏览/下载：30/0
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提交时间：2010/03/18
基于MEMS的高精度气压传感器的研制
学位论文
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2008
庞程
收藏
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浏览/下载：34/0
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提交时间：2011/07/19
MEMS 压力传感器 集成传感器 粘性键合
SU-8
MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制
期刊论文
微纳电子技术, 2007, 卷号: 44, 期号: 7, 页码: 249-251
庞程
;
赵湛
;
杜利东
收藏
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浏览/下载：21/0
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提交时间：2010/05/19
电容压力传感器
各向异性腐蚀
阳极键合
反应离子深刻蚀
电容式微加速度计检测电路研究
学位论文
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006
杨苗苗
收藏
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浏览/下载：17/0
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提交时间：2011/07/19
微电子机械系统
电容式加速度计
扭摆
梳齿
开关式检测电路
聚酰亚胺集成温湿压传感器的研制
学位论文
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006
曾欢欢
收藏
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浏览/下载：30/0
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提交时间：2011/07/19
聚酰亚胺
集成传感器
湿度
压力
电容式微加速度计检测电路研究
学位论文
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006
杨苗苗
收藏
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浏览/下载：35/0
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提交时间：2011/07/19
微电子机械系统
电容式加速度计
扭摆
梳齿
开关式检测电路
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