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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Accurate measurement and adjustment method for interference fringe direction in a scanning beam interference lithography system 期刊论文 Optics Express, 2023, 卷号: 31, 期号: 17, 页码: 28145-28160 作者:  Y. Li;  S. Jiang;  X. Chen;  Z. Liu;  W. Wang 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2024/07/03 扫描干涉场曝光系统干涉条纹测量与调整方法研究 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2015 作者:  姜珊 收藏  |  浏览/下载：101/0  |  提交时间：2015/11/30 全息光栅  扫描干涉场曝光系统  曝光对比度  干涉条纹  曝光刻线相位  光栅周期