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长春光学精密机械与物... [6]
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期刊论文 [5]
学位论文 [1]
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2015 [2]
2014 [1]
2009 [1]
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专题:长春光学精密机械与物理研究所
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面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计
期刊论文
仪器仪表学报, 2016, 期号: 6, 页码: 1210-1217
作者:
张德福
;
李显凌
;
葛川
;
倪明阳
;
郭抗
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2017/09/17
柔性机构
伪刚体模型
传感器
线性度
标定
光电侦查平台中电容式角位传感器的应用
期刊论文
信息通信, 2016, 期号: 1, 页码: 31-32
作者:
曹得胜
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2017/09/17
光电
电容式角位传感器
测量
光电稳定平台角位移高精度测量方法研究
期刊论文
国外电子测量技术, 2015, 期号: 10, 页码: 54-57
作者:
张宇鹏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2016/07/06
光电稳定平台
电容式传感器
测量
电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定
期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552
作者:
葛川
;
张德福
;
李朋志
;
郭抗
;
李佩玥
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2016/07/06
电容传感器
位移传感器
标定
线性度
不确定度
光刻投影物镜
基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制
期刊论文
实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57
陈琦
;
钟君
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2015/04/17
压电陶瓷
纳米定位
气浮导轨
激光干涉仪
电容式倾角传感器的研究与应用
学位论文
硕士, 长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2009
陈超
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浏览/下载:55/0
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提交时间:2012/03/21
电容传感器
电容/数字转换
AD7745
温度补偿
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