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长春光学精密机械与物... [3]
内容类型
学位论文 [3]
发表日期
2009 [1]
2002 [1]
2001 [1]
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专题:长春光学精密机械与物理研究所
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用于多目标光谱仪的微镜阵列关键制作工艺技术研究
学位论文
长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2009
作者:
李加东
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/03/21
微镜阵列
微电镀
叠层光刻胶
双层光刻胶
释放技术
极紫外投影光刻中若干关键技术研究
学位论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2002
作者:
金春水
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2012/03/21
极紫外投影光刻
Schwarzschild 物镜
计算机辅助装调
激光等离子体
抗蚀剂
多层膜
均匀性
散射
波导光栅的制备及其特性研究
学位论文
博士, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2001
马少杰
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浏览/下载:104/0
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提交时间:2012/03/21
光波导
波导光栅
非线性光波导
非线性波导光栅
波导光栅耦合器
布拉格衍射
波分复用器
全光开关/双稳
复合非线性材料
非线性聚合物薄膜
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