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科研机构
大连理工大学 [2]
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学位论文 [1]
期刊论文 [1]
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2013 [1]
2012 [1]
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Ar流量对ECR-PECVD制备氢化纳米晶硅薄膜结构及性能影响研究
期刊论文
人工晶体学报, 2013, 卷号: 42, 页码: 1750-1756
作者:
张学宇
;
吴化
;
刘耀东
;
吴爱民
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提交时间:2019/12/11
nc-Si∶H
Ar/H2
等离子体诊断
ECR-PECVD
氢化纳米晶硅薄膜的制备及生长机理研究
学位论文
: 大连理工大学, 2012
作者:
张学宇
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提交时间:2019/12/18
薄膜光伏电池
nc-Si:H薄膜
磷掺杂
硼掺杂
等离子体诊断
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