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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Effect of dust particle size on the plasma characteristics in a radio frequency capacitively coupled silane plasma 期刊论文 JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2019, 卷号: 52 作者:  Jia, Wen-Zhu;  Zhang, Quan-Zhi;  Wang, Xi-Feng;  Song, Yuan-Hong;  Zhang, Ying-Ying 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/02 dust plasma  electron heating mechanism  hybrid fluid/MC model   Ion Energy and Angular Distribution in Biased Inductively Coupled Ar/O-2 Discharges by Using a Hybrid Model 期刊论文 PLASMA PROCESSES AND POLYMERS, 2017, 卷号: 14 作者:  Wen, De-Qi;  Zhang, Yu-Ru;  Lieberman, Michael A.;  Wang, You-Nian 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2019/12/02 argon/oxygen discharge  biased inductively coupled plasma  fluid sheath model  global model  ion energy and angular distribution