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Ru、ZrB2基扩散阻挡层的制备与性能研究 学位论文
2016
作者:  孟瑜
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Zr-B-O薄膜的制备及其扩散阻挡性能研究 学位论文
2015
作者:  陈建华
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Ge基扩散阻挡层的制备及其结构与性能表征 学位论文
2014
作者:  石丹丹
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Cu(Ru)合金互连和超薄Zr、Ru基扩散阻挡层结构表征及热稳定性研究 学位论文
2011
作者:  何国华
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微合金化Cu互连梯度膜自形成阻挡层的微结构及其性能研究 学位论文
2010
作者:  王甲安
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深亚微米集成电路Cu互连阻挡层的结构设计及材料学表征 学位论文
2008
作者:  唐文进
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超深亚微米集成电路Cu互连膜系的材料学设计、表征及 学位论文
2008
作者:  刘波
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