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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 电子束直写邻近效应校正技术 期刊论文 半导体学报, 2003 陈宝钦; 任黎明; 刘明; 王云翔; 龙世兵; 陆晶; 李泠 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 纳米结构图形 电子束直写 蒙特卡罗模拟 邻近效应校正   JBX-5000LS电子束混合光刻对准标记制作技术 其他 2003-01-01 陈宝钦; 刘明; 任黎明; 卜伟海; 张国艳; 陆晶; 龙世兵; 李泠; 薛丽君; 牛洁斌 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 电子束光刻 混合光刻 对准标记   电子束直写邻近效应校正技术 其他 2002-01-01 陈宝钦; 任黎明; 刘明; 王云翔; 龙世兵; 陆晶; 李泠 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 纳米结构图形  电子束直写  蒙特卡罗模拟  邻近效应  校正技术  电子束曝光技术   使用紫外脉冲激光源外延生长氧化物薄膜 其他 1997-01-01 连贵君; 康晋锋 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/13 光纤光栅  光通信  紫外光直写系统