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用于微机电系统的SiO2/Si3N4驻极体的制备及电荷稳定性 期刊论文
功能材料, 2007
肖慧明; 温中泉; 张锦文; 陈钢进
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/11
基于局部基底弯曲法的高灵敏度薄膜应力测试技术 期刊论文
半导体学报, 2006
王莎莎; 陈兢; 栗大超; 黄玉波; 李志宏
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12
不同牺牲层材料上LPCVD氮化硅薄膜内应力的测试与研究 期刊论文
中国机械工程, 2005
王莎莎; 陈兢; 张海霞
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11
不同牺牲层材料上LPCVD氮化硅薄膜内应力的测试与研究 其他
2005-01-01
王莎莎; 陈兢; 张海霞
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/11
基于模糊图像合成技术的MEMS平面微运动测试技术 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2004
金翠云; 靳世久; 栗大超; 冯亚林; 李一博; 郝一龙
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12
一种用于RF MEMS移相器及开关可变电容的复合微桥膜结构 期刊论文
微纳电子技术, 2003
缪旻; 肖志勇; 武国英; 金玉丰; 郝一龙
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/11
一种用于RF MEMS移相器及开关可变电容的复合微桥膜结构 其他
2003-01-01
缪旻; 肖志勇; 武国英; 金玉丰; 郝一龙
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11
一种振动式微硅陀螺的设计与优化 其他
2001-01-01
杨振川; 郝一龙; 武国英
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/10/23
微电子机械系统中典型构件的力电耦合分析及其应用研究 期刊论文
机械强度, 2001
王丛舜; 张为斌; 方竞; 崔云俊; 沈健; 昌盛
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12
方兴未艾的微机电系统 期刊论文
电子世界, 2000
张兴
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/10/23

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