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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 采用防Footing效应工艺加工的SOI微加速度计 期刊论文 纳米技术与精密工程, 2010 毛旭; 杨振川; 李志宏; 闫桂珍 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/12 绝缘体上硅(SOI) 微加速度计 横向刻蚀 保护电极   基于表面牺牲层工艺微谐振器的金属化与释放 其他 2009-01-01 黄一峰; 阎博; 陈兢 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 微谐振器 多晶硅 表面牺牲层 制备工艺   挠性双端固支梁MEMS谐振器研究 其他 2008-01-01 刘毅; 汤雅权; 于晓梅 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 MEMS谐振器 SOI材料 亚微米间隙电容式 挠性双端固支梁 结构仿真