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厦门大学 [3]
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2011 [1]
2010 [2]
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An experimental study of ultrasonic vibration-assisted grinding of polysilicon using two-dimensional vertical workpiece vibration
期刊论文
http://dx.doi.org/10.1007/s00170-010-2991-x, 2011
Peng, Y.
;
Wu, Y. B.
;
Liang, Z. Q.
;
Guo, Y. B.
;
Lin, X.
;
郭隐彪
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2015/07/22
CERAMICS
单晶硅二维超声振动辅助磨削技术的实现
期刊论文
2010
梁志强
;
王西彬
;
吴勇波
;
赵文祥
;
彭云峰
;
许卫星
收藏
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浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2016/05/17
椭圆超声振动
磨削
单晶硅
磨削力
表面粗糙度
Elliptical ultrasonic vibration Grinding Silicon Grinding force Surface roughness
Kinematical Characteristics of Two-Dimensional Vertical Ultrasonic Vibration-assisted Grinding Technology
其他
2010-01-01
Peng, Y.
;
Wu, Y.
;
Liang, Z.
;
Guo, Y.
;
郭隐彪
收藏
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浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2015/07/22
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