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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：厦门大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Wet thermal annealing effect on TaN/HfO2/Ge metal-oxide-semiconductor capacitors with and without a GeO2 passivation layer 期刊论文 http://dx.doi.org/10.1088/1674-1056/21/11/117701, 2012 Liu Guan-Zhou; Li Cheng; Lu Chang-Bao; Tang Rui-Fan; Tang Meng-Rao; Wu Zheng; Yang Xu; Huang Wei; Lai Hong-Kai; Chen Song-Yan; 陈松岩 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2013/12/12 GERMANIUM MOS CAPACITORS  ELECTRICAL-PROPERTIES  SURFACE PASSIVATION  HFO2 FILMS  SUBSTRATE  DEPOSITION   Wet thermal annealing effect on TaN/HfO2/Ge metal - Oxide - Semiconductor capacitors with and without a GeO2 passivation layer 期刊论文 http://dx.doi.org/10.1088/1674-1056/21/11/117701, 2012 Liu, Guan-Zhou; Li, Cheng; Lu, Chang-Bao; Tang, Rui-Fan; Tang, Meng-Rao; Wu, Zheng; Yang, Xu; Huang, Wei; Lai, Hong-Kai; Chen, Song-Yan; 李成; 黄巍; 赖虹凯; 陈松岩 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/07/22 Annealing  Dielectric devices  Dielectric materials  Electric properties  Germanium oxides  Hafnium oxides  Interface states  MOS capacitors  Passivation  Photoelectron spectroscopy  Transmission electron microscopy