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科研机构
清华大学 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
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2010 [4]
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Effect of pH on Material Removal Rate of Cu in Abrasive-Free Polishing
期刊论文
2010, 2010
Zhang Wei
;
Lu Xinchun
;
Liu Yuhong
;
Pan Guoshun
;
Luo Jianbin
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2017/06/15
HYDROGEN-PEROXIDE
IMPEDANCE SPECTROSCOPY
COMPLEXING AGENTS
FUNCTIONAL-GROUPS
CITRIC-ACID
COPPER
SLURRIES
CMP
MODEL
Electrochemistry
Materials Science, Coatings & Films
缓蚀剂在铜化学机械抛光过程中的作用研究
期刊论文
2010, 2010
张伟
;
路新春
;
刘宇宏
;
雒建斌
;
ZHANG Wei
;
LU Xin-chun
;
LIU Yu-hong
;
LUO Jian-bin
收藏
  |  
浏览/下载:2/0
氨基乙酸-H_2O_2体系抛光液中铜的化学机械抛光研究
期刊论文
2010, 2010
张伟
;
路新春
;
刘宇宏
;
潘国顺
;
雒建斌
;
ZHANG Wei
;
LU Xin-chun
;
LIU Yu-hong
;
LUO Jian-bin
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浏览/下载:2/0
Electrochemical treatment of ammonia in wastewater by RuO2-IrO2-TiO2/Ti electrodes
期刊论文
2010, 2010, OCT
Chen, Jinluan
;
Shi, Hanchang
;
Lu, Jinghua
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浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2017/06/15
ammonia removal
current efficiency
electrochemical treatment
kinetics
indirect anodic oxidation
RuO2-IrO2-TiO2/Ti electrode
ANODIC-OXIDATION
NITRIFICATION
DECOMPOSITION
NITROGEN
PHENOL
TI/PT
Electrochemistry
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