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浏览/检索结果: 共25条，第1-10条 帮助 限定条件 专题：清华大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 布线图案导致的集成电路平坦化损伤研究 期刊论文 2016, 2016 郭玉龙; 郭丹; 潘国顺; 雒建斌; GUO Yulong; GUO Dan; PAN Guoshun; LUO Jianbin 收藏  |  浏览/下载：8/0 300mm晶圆化学机械抛光机关键技术研究与实现 期刊论文 2016, 2016 王同庆; 路新春; 赵德文; 门延武; 何永勇; WANG Tongqing; LU Xinchun; ZHAO Dewen; MEN Yanwu; HE Yongyong 收藏  |  浏览/下载：7/0 Investigation of material removal mechanism of silicon wafer in the chemical mechanical polishing process using molecular dynamics simulation method 期刊论文 2010, 2010 Han, Xuesong; Hu, Yuanzhong; Yu, Siyuan 收藏  |  浏览/下载：146/0 Particles detection and analysis of hard disk substrate after cleaning of post chemical mechanical polishing 期刊论文 2010, 2010 Huang, Yating; Lu, Xinchun; Pan, Guoshun; Lee, Bill; Luo, Jianbin 收藏  |  浏览/下载：2/0 计算机硬盘基片CMP镍磷材料的去除机理 会议论文 第八届全国摩擦学大会论文集, 第八届全国摩擦学大会, 中国广东广州, CNKI, 中国机械工程学会摩擦学分会 胡波; 李维民; 黄雅婷; 赵艳; Hu bo; WeiMing Leet; Huang Yating; Zhao Yan 收藏  |  浏览/下载：4/0 氨基乙酸-H_2O_2体系抛光液中铜的化学机械抛光研究 会议论文 第八届全国摩擦学大会论文集, 第八届全国摩擦学大会, 中国广东广州, CNKI, 中国机械工程学会摩擦学分会 张伟; 路新春; 刘宇宏; 雒建斌; ZHANG Wei; LU Xinchun; LIU Yuhong; LUO Jianbin 收藏  |  浏览/下载：6/0 纯金金相试样的制备 期刊论文 2010, 2010 齐凤; Qi Feng 收藏  |  浏览/下载：7/0 考虑填充哑元的有效三维互连电容提取与分析 期刊论文 2010, 2010 张梦生; 喻文健; 王泽毅; ZHANG Meng-sheng; YU Wen-jian; WANG Ze-yi 收藏  |  浏览/下载：3/0 化学机械抛光中纳米颗粒的作用分析 期刊论文 2010, 2010 张朝辉; 雒建斌; 温诗铸; Zhang Chao-Hui; Luo Jian-Bin; Wen Shi-Zhu 收藏  |  浏览/下载：3/0 化学机械抛光中抛光液流动的微极性分析 期刊论文 2010, 2010 张朝辉; 雒建斌; ZHANG Chao-hui; LUO Jian-bin 收藏  |  浏览/下载：2/0