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大连理工大学 [7]
内容类型
项目 [7]
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2019 [1]
2015 [1]
2010 [1]
2008 [3]
2007 [1]
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容性耦合等离子体准原子层刻蚀/沉积的多尺度混合模拟研究
项目
2019-
作者:
宋远红
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2019/12/02
宽能域离子束在等离子体中的能量沉积及其激发的自调制不稳定性和尾波场
项目
2015-
作者:
高飞
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2019/12/09
大气压介质阻挡放电线状等离子体均匀沉积TiO2光催化薄膜
项目
2010-
作者:
朱爱民
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/24
等离子体化学气相沉积微晶硅薄膜的活性粒子诊断
项目
2008-
作者:
李小松
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/27
中气压射频辉光放电射流等离子体辅助纳米硅光电薄膜高速沉积
项目
2008-
作者:
张家良
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/27
双频容性耦合等离子体沉积多晶硅薄膜的机理研究
项目
2008-
作者:
王友年
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/27
大气压放电冷等离子体炬及其沉积多晶硅薄膜研究
项目
2007-
作者:
王德真
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/27
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