×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
CORC
首页
科研机构
检索
知识图谱
申请加入
托管服务
登录
注册
在结果中检索
科研机构
光电技术研究所 [5]
长春光学精密机械与物... [1]
内容类型
期刊论文 [6]
发表日期
2017 [1]
2014 [1]
2013 [2]
2012 [2]
学科主题
Electrical... [1]
Engineerin... [1]
×
知识图谱
CORC
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共6条,第1-6条
帮助
限定条件
内容类型:期刊论文
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
作者升序
作者降序
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
Interference Fringe Locking by Grating-Shifting Holographic Grating Exposure
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 5
作者:
Song, Y.
;
X. Zhao
;
Y. Jiang
;
Bayanheshig and X. Qi
收藏
  |  
浏览/下载:16/0
  |  
提交时间:2018/06/13
The leveling of mask and wafer in proximity nanolithography using fringe pattern phase analysis
期刊论文
OPTIK, 2014, 卷号: 125, 期号: 13, 页码: 3176-3180
作者:
Xu, Feng
;
Zhou, Shaolin
;
Hu, Song
收藏
  |  
浏览/下载:15/0
  |  
提交时间:2015/07/10
Nanolithography
Leveling
Fringe pattern analysis
Phase extraction
Influence of tilt moire fringe on alignment accuracy in proximity lithography
期刊论文
OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2013, 卷号: 51, 期号: 4, 页码: 371-381
作者:
Zhu, Jiangping
;
Hu, Song
;
Yu, Junsheng
;
Tang, Yan
;
Xu, Feng
收藏
  |  
浏览/下载:16/0
  |  
提交时间:2015/04/17
Angular displacement
Phase
Tilt moire fringe
Lithography alignment
Linear displacement
Influence of tilt moiré fringe on alignment accuracy in proximity lithography
期刊论文
Optics and Lasers in Engineering, 2013, 卷号: 51, 期号: 4, 页码: 371-381
作者:
Zhu, Jiangping
;
Hu, Song
;
Yu, Junsheng
;
Tang, Yan
;
Xu, Feng
收藏
  |  
浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2016/11/23
Alignment method based on matched dual-grating moire fringe for proximity lithography
期刊论文
OPTICAL ENGINEERING, 2012, 卷号: 51, 期号: 11
作者:
Zhu, Jiangping
;
Hu, Song
;
Yu, Junsheng
;
Tang, Yan
收藏
  |  
浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2015/07/10
lithography alignment
moire fringe
angular displacement
Alignment method based on matched dual-grating moiré fringe for proximity lithography
期刊论文
Optical Engineering, 2012, 卷号: 51, 期号: 11, 页码: 113603
作者:
Zhu, Jiangping
;
Hu, Song
;
Yu, Junsheng
;
Tang, Yan
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2016/11/23
©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by
CSpace