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科研机构
大连理工大学 [2]
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期刊论文 [2]
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Experimental investigation of standing wave effect in dual-frequency capacitively coupled argon discharges: role of a low-frequency source
期刊论文
PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2018, 卷号: 27
作者:
Zhao, Kai
;
Liu, Yong-Xin
;
Kawamura, E.
;
Wen, De-Qi
;
Lieberman, M. A.
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提交时间:2019/12/02
capacitively coupled plasmas
dual-frequency
standing wave effect
uniformity
PROES
Striations in electronegative capacitively coupled radio-frequency plasmas: analysis of the pattern formation and the effect of the driving frequency
期刊论文
PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2017, 卷号: 26
作者:
Liu, Yong-Xin
;
Korolov, Ihor
;
Schuengel, Edmund
;
Wang, You-Nian
;
Donko, Zoltan
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浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2019/12/02
striations
electronegative gas
capacitively coupled rf plasma
PROES
PIC/MCC simulation
ion-ion plasma model
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