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基于光诱导电化学沉积的金属微电极加工方法
期刊论文
传感技术学报, 2017, 卷号: 30, 期号: 5, 页码: 650-654
作者:
关涛
;
丛培田
;
刘柱
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2017/07/17
光诱导电化学反应
金属微电极
原子力显微镜
电极沉积
国际半导体技术发展路线图(ITRS)2012版综述(3)
期刊论文
中国集成电路, 2014
赵聚晟
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/12
纳米压印光刻技术的研究与发展
期刊论文
陕西理工学院学报(自然科学版), 2013, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 1-5,9
作者:
陈建刚
;
魏培
;
陈杰峰
;
赵知辛
;
何雅娟
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/12/03
图形质量
纳米压印
工艺过程
关键问题
玻璃基底上的蛋白质微接触压印图型化(英文)
期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=NMJM200906014&dbname=CJFQ2009, 2012, 2012
叶芳
;
苑伟政
;
谢丽
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2017/06/19
微接触印刷
胶原Ⅰ型蛋白
氧等离子体
聚二甲基硅氧烷
亲水性
含氟紫外纳米压印光刻胶的研制
期刊论文
微纳电子技术, 2012, 卷号: 49, 页码: 471-477
作者:
赵彬[1]
;
周伟民[2]
;
张静[3]
;
刘彦伯[4]
;
王金合[5]
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/04/30
紫外纳米压印
光刻胶
含氟助剂
接触角
脱模
纳米压印光刻胶
期刊论文
微纳电子技术, 2011, 卷号: 48, 页码: 606-612
作者:
赵彬[1]
;
张静[2]
;
周伟民[3]
;
王金合[4]
;
刘彦伯[5]
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2019/04/30
纳米压印(NIL)
热压印光刻胶
紫外压印光刻胶
氟聚合物
有机硅聚合物
纳米压印光刻技术及其设备研制
期刊论文
中国机械工程, 2010
顾文琪
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2010/09/29
纳米压印光刻模具制作技术研究进展及其发展趋势
期刊论文
机械工程学报, 2009, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 1-13
作者:
兰红波
;
丁玉成
;
刘红忠
;
卢秉恒
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/26
纳米压印光刻
模具制作
三维模具
大面积模具
软模具
2008纳米压印光刻国际学术会议
期刊论文
国际学术动态, 2009, 期号: 06, 页码: 53-54
作者:
兰红波
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/26
纳米压印,光刻技术,复制方法,学术会议,抗蚀剂,对准精度,制作水平,高分辨率,功能材料,提供商
纳米光刻对准方法及其原理
期刊论文
微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 4, 页码: 222-230
周绍林
;
唐小萍
;
胡松
;
马平
;
陈旺富
;
杨勇
;
严伟
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提交时间:2015/05/18
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