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长春光学精密机械与物... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
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机刻光栅复合基底对薄膜内应力的影响研究
期刊论文
机械设计与制造, 2020, 期号: 05, 页码: 37-40
作者:
张宝庆
;
张绍泽
;
曹聪
;
高劲松
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2021/07/06
机刻光栅
复合基底
残余应力
薄膜
压痕
模拟
基底温度对中阶梯光栅厚铝膜质量的影响
期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 656-662
作者:
杨海贵
;
孙梦至
;
王笑夷
;
高劲松
;
李资政
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2017/09/17
中阶梯光栅
厚铝膜
基底温度
大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析
期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者:
宋楠
;
冯树龙
;
于海利
;
齐向东
;
巴音贺希格
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2016/07/06
光栅
衍射光栅
光栅刻划机
气浮导轨
双频激光干涉仪
刀架系统
精确可调单簧片式施压机构在摩擦驱动中的应用
期刊论文
机械设计与研究, 2015, 期号: 01, 页码: 1-4
作者:
陈琦
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2016/07/06
等应力簧片
簧片刚度
偏心轮
摩擦驱动
光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法
期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182
李晓天
;
于海利
;
齐向东
;
朱继伟
;
于宏柱
;
巴音贺希格
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2015/04/17
光栅
光栅刻划机
宏微两级工作台
BP神经网络
PID控制
自适应控制
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