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地质与地球物理研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2017 [1]
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内容类型:期刊论文
专题:地质与地球物理研究所
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Using pseudo electrostatic spring constant to improve the resolution of micro-machined accelerometer
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2017, 卷号: 265, 页码: 187-192
作者:
Xiong, Xingyin
;
Cong, Ning
;
Li, Zongwei
;
Han, Kedu
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提交时间:2017/12/18
Pseudo Spring Constant
Closed-loop Accelerometer
Electrostatic Force-feedback
Sigma-delta Modulator
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