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科研机构
上海微系统与信息技术... [4]
金属研究所 [1]
内容类型
成果 [5]
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2008 [1]
2007 [3]
2000 [1]
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微机械加速度计器件的圆片级封装工艺
成果
鉴定: 无, 2008
张鲲
;
王跃林
;
李昕欣
;
杨恒
收藏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2013/04/12
一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计
成果
鉴定: 无, 2007
李昕欣
;
王跃林
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2013/04/12
新型耐高温压力传感器系列
成果
鉴定: 无, 2007
未知
收藏
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浏览/下载:89/0
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提交时间:2013/04/12
MEMS器件真空封装工艺模拟软件与IP库
成果
鉴定: 无, 2007
未知
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2013/04/12
激光法高产率一体化低成本制备纳米硅基系列粉技术
成果
2000
梁勇
;
郑丰
;
线全刚
;
吴振刚
;
吴寅生
;
冯钟潮
收藏
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浏览/下载:55/0
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提交时间:2013/07/24
纳米材料
纳米硅粉
硅基陶瓷粉
激光法诱导
制备工艺
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