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微机械加速度计器件的圆片级封装工艺 成果
鉴定: 无, 2008
张鲲; 王跃林; 李昕欣; 杨恒
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一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计 成果
鉴定: 无, 2007
李昕欣; 王跃林
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新型耐高温压力传感器系列 成果
鉴定: 无, 2007
未知
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MEMS器件真空封装工艺模拟软件与IP库 成果
鉴定: 无, 2007
未知
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激光法高产率一体化低成本制备纳米硅基系列粉技术 成果
2000
梁勇; 郑丰; 线全刚; 吴振刚; 吴寅生; 冯钟潮
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