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上海微系统与信息技术... [4]
内容类型
成果 [4]
发表日期
2008 [1]
2007 [3]
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内容类型:成果
专题:上海微系统与信息技术研究所
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微机械加速度计器件的圆片级封装工艺
成果
鉴定: 无, 2008
张鲲
;
王跃林
;
李昕欣
;
杨恒
收藏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2013/04/12
一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计
成果
鉴定: 无, 2007
李昕欣
;
王跃林
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2013/04/12
新型耐高温压力传感器系列
成果
鉴定: 无, 2007
未知
收藏
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浏览/下载:90/0
  |  
提交时间:2013/04/12
MEMS器件真空封装工艺模拟软件与IP库
成果
鉴定: 无, 2007
未知
收藏
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浏览/下载:23/0
  |  
提交时间:2013/04/12
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