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沈阳自动化研究所 [2]
上海光学精密机械研究... [2]
长春光学精密机械与物... [1]
电工研究所 [1]
声学研究所 [1]
内容类型
学位论文 [7]
发表日期
2015 [3]
2008 [1]
2004 [1]
学科主题
光学工程 [2]
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AUV浮力调节系统及深度自适应控制研究
学位论文
硕士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
作者:
王雨
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浏览/下载:192/0
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提交时间:2015/08/20
自主水下机器人
AMESim液压系统
活塞缸式浮力调节
油囊式浮力调节
深度控制
模糊自适应PID控制
空间站对接与转位机构性能测试研究
学位论文
硕士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
作者:
白鑫林
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浏览/下载:114/0
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提交时间:2015/08/20
空间站对接与转位机构
地面试验
微重力模拟
承载性能测试
航天遥感相机焦平面技术研究
学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:
龚大鹏
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浏览/下载:70/0
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提交时间:2015/11/30
航天遥感相机
焦平面组件
搭接像元数计算
精度分析
精密定焦
立体成像
谐振频率对多层结构下背覆薄层厚度的反演检测
学位论文
博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2008
周昌智
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2011/05/07
超声谱
无损评价
薄层
谐振频率
模拟退火
新型无接触供电系统的研究
学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2004
1武瑛,电工研究所
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2010/10/18
无接触供电
无接触变压器
互感模型
初、次级补偿
稳定性 Contactless Power Supply
Contactless Transformer
Mutual Inductance Model
Primary and Secondary Compensation
Stability Characteristics
基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究
学位论文
作者:
郑亚忠
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浏览/下载:325/0
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提交时间:2018/12/26
光刻机,工件台,位置测量,平面光栅尺
Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder
高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究
学位论文
作者:
程伟林
收藏
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浏览/下载:157/0
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提交时间:2018/12/26
高端光刻机照明系统
Advanced lithographic illumination
智能均匀性校正技术
intelligent uniformity correction
手指阵列式均匀性校正技术
finger arreys uniformity correction
阵列式手指驱动技术
finger array driving technology
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