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科研机构
上海光学精密机械研究... [2]
厦门大学 [1]
声学研究所 [1]
内容类型
学位论文 [4]
发表日期
2013 [1]
2009 [1]
2008 [1]
2004 [1]
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基于浓硼自停止腐蚀技术的硅微谐振结构的制备
学位论文
2013, 2013
张豪尔
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2016/01/13
浓硼自停止层
硼硅玻璃去除
谐振结构释放
heavily boron-doped etch stop layer
boron-silicate-glass removal
resonant structure release
半导体激光正弦相位调制干涉测振技术的研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
李中梁
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2016/11/28
振动测量
干涉测量
光学检测
正弦相位调制
基于相位载波调制/解调的硅微光纤传声器研究
学位论文
博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2008
邓越
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2011/05/07
光纤传声器
硅微振动膜
PGC
飞秒激光照射引起玻璃结构变化的研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2004
作者:
周秦岭
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浏览/下载:147/0
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提交时间:2016/11/28
飞秒激光
玻璃
点缺陷
折射率
非线性电离
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