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电工研究所 [1]
上海光学精密机械研究... [1]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2011 [1]
2009 [1]
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13.5nm软X射线多层膜反射镜制备及性能分析
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2011
作者:
朱亚丹
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提交时间:2016/11/28
软x射线膜
厚度均匀性
变速法
磁控溅射
便携式真空度测试仪的研究
学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2009
1石一,电工研究所
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提交时间:2010/10/18
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磁控放电
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Magnetron discharge
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