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| 面向围术期和围透析期传感系统的理论研究与结构优化设计 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2024
作者: 周联巧
  收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2024/06/03
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| 基于MEMS传感器波浪测量系统的设计与实现 学位论文
中国科学院海洋研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 肖超
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2022/06/09
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| 博士学位论文:高温MEMS加速度计关键技术研究 学位论文
中国科学院声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2021
作者: 齐敏
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2021/08/26 |
| 博士学位论文:MEMS压电矢量水听器研究 学位论文
中国科学院声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2021
作者: 樊青青
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2021/08/26 |
| 硕士学位论文:MEMS仿生压电指向性传声器 学位论文
中国科学院声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2021
作者: 翟禹光
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2021/08/26 |
| 新型高性能RF-MEMS谐振器研究 学位论文
中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 陈泽基
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2021/06/17 |
| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 宋培帅
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2021/06/18 |
| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 何昱蓉
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2021/06/16 |
| 小型光电设备中 MEMS 速率陀螺仪随机误差抑制技术研究 学位论文
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 彭关龙
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2021/06/28 |
| 基于MEMS微悬臂梁结构的单片集成器件研究 学位论文
中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者: 王栎皓
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2020/11/24 |
