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| 极紫外与X射线增反膜表面碳沉积去除技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 王依
  收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 软X射线多层膜的界面研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 赵娇玲
收藏 | 浏览/下载：76/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 软X射线多层膜界面研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 赵娇玲
收藏 | 浏览/下载：39/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 方伟
收藏 | 浏览/下载：134/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 极紫外光刻物镜系统光学设计研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 王君
收藏 | 浏览/下载：119/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 极紫外光学薄膜元件表面抗污染保护层及相关技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 王珣
收藏 | 浏览/下载：62/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 极紫外光刻含缺陷掩模理论模型的建立和仿真验证 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 管文超
收藏 | 浏览/下载：79/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 极紫外光刻掩模建模与缺陷补偿方法研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 刘晓雷
收藏 | 浏览/下载：86/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
硕士: 中国科学院大学, 2014
代晓珂
收藏 | 浏览/下载：36/0 | 提交时间：2015/05/03
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| 极紫外多层膜光学元件表面污染研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2014
鹿国庆
收藏 | 浏览/下载：60/0 | 提交时间：2014/08/21 |
