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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 同步辐射硬X射线纳米聚焦自适应位相补偿系统光学特性研究 学位论文 : 中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所), 2020 作者:  田纳玺 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2020/12/07 硬X射线聚焦  位相补偿  X射线光学检测  压电变形镜   用于大NA光刻投影物镜波像差检测系统的精密定位台的研究 学位论文 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 舒强 收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2014/12/11 波像差检测  压电陶瓷驱动器  柔性铰链  精密定位