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用于MEMS微镜监测的光电集成位置传感芯片的研究 学位论文
2016, 2016
郑明
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2017/06/20
极微小电容的检测技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院大学, 2014
冯佳
收藏  |  浏览/下载:192/0  |  提交时间:2015/05/03
基于有磁芯螺线管验证位移电流的方向 学位论文
2013, 2013
朱金攀
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2016/01/13
车载光电跟瞄设备主动隔振系统设计 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
高常春
收藏  |  浏览/下载:148/0  |  提交时间:2014/12/11
基于平板式电容的微位移测量系统设计 学位论文
: 大连理工大学, 2010
作者:  郑银涛
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/18
数字式电容微位移传感器的研究与应用 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:  师树恒
收藏  |  浏览/下载:286/0  |  提交时间:2016/11/28
具有纳米级运动分辨率及定位精度的工作台的研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2006
作者:  王勇
收藏  |  浏览/下载:61/0  |  提交时间:2016/11/28
一种压阻式微机械陀螺的研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2005
陈雪萌  
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2012/03/06
微机械梳状电容式加速度传感器及梳状振动式陀螺研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海冶金研究所)  , 1999
熊幸果
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2012/03/06


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