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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 X射线闪烁体成像探测器光学编码成像研究 学位论文 : 中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所), 2020 作者:  夏慧娟 收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2020/12/07 X射线间接成像探测器  闪烁体  点扩散函数  高频信息  极紫外干涉光刻   基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  方伟 收藏  |  浏览/下载：121/0  |  提交时间：2016/11/28 Ptychography  PIE  相位恢复  波像差  光刻投影物镜  极紫外光刻   光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文 硕士: 中国科学院大学, 2014 代晓珂 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2015/05/03 光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制   EUVL微缩投影光学系统精密装调技术研究 学位论文 硕士, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2003 林强 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/03/21 极紫外投影光刻  微缩投影物镜  干涉检测  光学精密装调技术   极紫外投影光刻中若干关键技术研究 学位论文 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2002 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2012/03/21 极紫外投影光刻  Schwarzschild 物镜  计算机辅助装调  激光等离子体  抗蚀剂  多层膜  均匀性  散射   基于碲基相变材料的激光热模光刻技术研究 学位论文 作者:  魏涛 收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2018/12/26 激光热模光刻  Laser heat-mode lithography  热模光刻胶  heat-mode resists  灰度光刻  greyscale lithography  微纳结构  color printing  彩色打印  micro/nano structures