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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 电容式微加工超声传感器的关键技术研究 学位论文 2017 作者:  李支康 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/11/26 CMUT  薄膜变形  塌陷电压  谐振频率  低温晶圆键合   硅硅低温键合技术研究 学位论文 2012, 2012 陶巍 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2016/02/14 晶圆低温键合  直接键合  键合质量  等离子体活化  Low-temperature wafer bonding  Direct bonding  Bonding quality  Plasma activation   低温等离子体键合与新型高速衬底材料制备 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 马小波 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/03/06 低温等离子体键合  绝缘体上的硅（SOI）  绝缘体上锗硅（SGOI）  绝 缘体上的锗（GeOI）  应变硅（strained Si）