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浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 集成式光学干涉三维振动测量研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013 作者:  张雪洁 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/28 振动测量，干涉仪，球面波，三维振动   数字式电容微位移传感器的研究与应用 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009 作者:  师树恒 收藏  |  浏览/下载：290/0  |  提交时间：2016/11/28 数字式电容微位移传感器  有限元  光栅拼接  AD7746  PIC18F单片机  屏蔽  抗干扰   正弦相位调制角位移干涉测量技术的研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007 作者:  郑德锋 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/11/28 角位移测量  干涉测量  光学检测  正弦相位调制   微角位移干涉测量技术的研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2004 作者:  张彩妮 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2016/11/28 角位移测量  正弦相位调制  Fabry-Perot干涉仪  激光微弧度发散角   星间激光通信动态轨道模拟及跟瞄测试系统方案设计 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2004 作者:  章磊 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/11/28 星间激光通信  卫星轨道模拟  PAT技术  万向转台   纳米分辨率微振动实时干涉测量技术的研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2001 作者:  宋松 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/28 实时测量  干涉仪  半导体激光器  正弦相位调制   基于迭代算法的快速相位测量技术研究 学位论文 作者:  姚玉东 收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2018/12/26 相干衍射成像，相位测量，快速数据采集，光场调制，数字化调制  coherent diffractIve imaging,phase measurement,fast data acquisition, light field modulation, digital modulation   基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：325/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   高密度光栅中的简化模式方法 学位论文 作者:  项长铖 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2018/12/26 简化模式方法  Simpified modal method  衍射光栅  Diffraction grating  谐振  Resonance  光学测量  Optical measurement   高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究 学位论文 作者:  程伟林 收藏  |  浏览/下载：157/0  |  提交时间：2018/12/26 高端光刻机照明系统  Advanced lithographic illumination  智能均匀性校正技术  intelligent uniformity correction  手指阵列式均匀性校正技术  finger arreys uniformity correction  阵列式手指驱动技术  finger array driving technology