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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：沈阳自动化研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于MEMS与AFM的纳米管道系统制作方法研究 学位论文 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011 王志迁 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/07/27 原子力显微镜  纳米管道  纳流控  微流控  阳极键合   纳米微动平台实验系统研究 学位论文 硕士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2003 张江波 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/08/29 压电陶瓷  MEMS  微机器人  微装配  微操作