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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 低温等离子体键合与新型高速衬底材料制备 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 马小波 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2012/03/06 低温等离子体键合  绝缘体上的硅（SOI）  绝缘体上锗硅（SGOI）  绝 缘体上的锗（GeOI）  应变硅（strained Si）   SGOI、SODI新结构材料及其相关技术研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 狄增峰   收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/03/06 SiGe  绝缘体上的硅(SOI)  绝缘体上的锗硅(SGOI)  应变硅  高K栅介质  等离子浸没式离子注入  自加热效应     SGOI材料的SIMOX制备技术研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2005 陈志君   收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/03/06 掩盖注氧隔离技术  氧化增强注氧隔离技术  绝缘体上的锗硅  应变硅