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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 MEMS电容式微加速度传感器的电路补偿和校准研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 戚玉婕 收藏  |  浏览/下载：52/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  反馈补偿参数  Q值  DSP   基于自停止腐蚀的双面梁-质量块结构加速度传感器研究 学位论文 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2008 肖飞 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/03/06 微电子机械系统  加速度传感器  自停止腐蚀  硅-硅键合   一种电容间隙精确可控的硅硅键合三明治加速度传感器 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 毛健 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  硅硅键合  圆片级真空封装  电容间隙控制     基于自停止腐蚀的双面梁—质量块结构加速度传感器研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 肖飞   收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/03/06 微电子机械系统  加速度传感器  自停止腐蚀  硅-硅键合     MEMS电容式加速度传感器单片集成接口电路研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 赵楷  收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  Verilog-A开关电容  相关双采样     硅四层键合MEMS电容式加速度传感器研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 徐玮鹤   收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  硅-硅键合  圆片级真空封装