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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 高NA投影光刻物镜波像差检测技术研究 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2015 作者:  李晶 收藏  |  浏览/下载：65/0  |  提交时间：2015/11/30 投影光刻  光学检测  波像差  哈特曼-夏克波前传感器   傅里叶望远镜成像关键技术研究 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2014 于树海 收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2014/08/21